特許
J-GLOBAL ID：200903014325548610
光スイッチ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058297
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258704
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 小型かつ高精度の光スイッチを提供する。【解決手段】 基板11上に、その基板表面と平行に位置され、かつその基板表面に対して垂直方向に変位可能とされた可動電極12上にマイクロミラー15が搭載されてなる光スイッチにおいて、基板11を導電材によって構成し、その基板表面にエッチング加工により凹部31を形成し、その凹部31の底面を可動電極12と平行対向する固定電極面とする。従来の基板に貫通孔を形成し、固定電極を構成する別基板を貼り合わせるものに比し、基板の枠状領域が不要となる分、小型化でき、かつそのように接着により固定電極面を位置決めするものではないため、良好な位置精度を得ることができる。
請求項（抜粋）：
基板上に、その基板表面と平行に位置され、かつその基板表面に対して垂直方向に変位可能とされた可動電極上にマイクロミラーが搭載され、上記可動電極を駆動して上記マイクロミラーを変位させることにより入射する光ビームの光路切り換えが行われる光スイッチにおいて、上記基板が導電材よりなり、その基板表面にエッチング加工により凹部が形成され、その凹部の底面が上記可動電極と平行対向する固定電極面とされていることを特徴とする光スイッチ。
Fターム (5件)：
2H041AA15
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
