特許

J-GLOBAL ID：200903016375470020

改善された微小機械変調器の方法及び装置

発明者： スザンヌ シー.アーニイ ,  デニス スタンレイ グレイウォール ,  ジェームス エー.ウォーカー ,  バーナード ユアク
出願人/特許権者： ルーセント テクノロジーズ インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-018208
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236760
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 本発明は改善された微小機械変調器の方法及び装置を提供する。【解決手段】 改善された変調器及びその変調器の作製方法が、明らかにされている。円形が好ましい薄膜が、薄膜と基板の間に、変調器空胴を形成する間隙が生じるように、基板の一領域上に、形成される。薄膜は空胴上に、連続した表面を形成する。具体的には、薄膜は別々の支持アームによっては支持されず、変調器空胴を越えて延びる。薄膜の動きを抑える助けとなり、変調器形成中、下の層への接近を可能にするように、薄膜中に孔を形成するのが好ましい。本方法に従うと、変調器は基板と薄膜の間に間隙を生じる手段を形成し、薄膜を形成し、間隙を生じる手段を除去する助けとなる横方向導管を形成し、最後に、間隙を作る手段を除去することにより、形成される。

請求項（抜粋）：

基板;光信号を受け、基板の第1の領域上で、間隙と、変調器空胴を規定する周囲を有する第1の領域を規定する空間だけ分離され、変調器空胴の周囲の本質的な部分と重なる薄膜;及び薄膜及び基板にバイアス信号を供給するデバイスを含み、バイアス信号が無いとき、薄膜は第1の位置をもち、間隙は第1の大きさをもち、バイアス信号がある時、薄膜は第2の位置に移動し、間隙は第2の大きさをもち、第1又は第2の位置の1つにおいて、薄膜及び基板が受けた光信号は、薄膜及び基板から、本質的に反射されず、他方の位置において、光信号の本質的な部分が、薄膜及び基板から反射される光信号を変調するための微小機械変調器。

IPC (2件)：

G02B 26/02 ,  H03C 7/02

FI (2件)：

G02B 26/02 J ,  H03C 7/02 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭62-257032
  
• 面分割投影素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-305901   出願人：三菱レイヨン株式会社
• 特開昭62-257032
  
• 特開昭62-257032
  
• 集積光学装置とその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-071661   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド