特許
J-GLOBAL ID：200903014360856549
クラスタ用移送チャンバー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
相田 伸二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-162901
公開番号（公開出願番号）：特開2004-363601
出願日： 2004年06月01日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】大容量でありながら、制作費が低廉であって、その設置及び運送がより容易な分離型移送チャンバーを提供する。【解決手段】移送チャンバーは第1本体320と、第1本体の上段に結合されるカバー380と、第1本体の側面に結合される第2本体340及び第3本体360と、により構成されていて、第1本体と第2本体との間、第1本体と第3本体との間、並びに第1本体とカバーとの間は、各々Oリング330、350、370によりシーリングされる。第1本体は直六面体であって、上面及び一組の側面には開口部322、別の一組の側面にはロードロックチャンバー連結部326、及び工程チャンバ-連結部324が各々形成されている。第2本体、第3本体は、三角柱状であって、第1本体の側面開口部に結合される側面開口部364、工程チャンバーが結合される工程チャンバ-連結部342、362が形成されている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被加工物の加工を行うための工程チャンバーが連結されるように構成されていると共に、該工程チャンバーに被加工物を移送するための空間を内部に有するクラスタ用移送チャンバーにおいて、
第1本体と、
前記第1本体に連結されて該第1本体と共に被加工物を移送するための空間を形成する第2本体と、
を備えたことを特徴とするクラスタ用移送チェンバー。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA17
, 5F031MA04
, 5F031NA07
, 5F031PA30
