物品保持装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193855
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045753
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】ウエハとの摺動に伴う保持面の摩耗を防止することにより、物品保持装置の寿命を向上させるとともに、保持面の平坦精度が損なわれないようにする。また、保持面への埃塵の付着を防止することにより、半導体ウエハに対し悪影響を与えず、ウエハへの回路転写時における断線や短絡の防止、露光時における解像不良を防ぐとともに、ガラス基板の露光時には光の反射を低減し、解像不良を防止する。【解決手段】半導体ウエハやLCD用ガラス基板などのウエハを保持する保持面がセラミックスからなる物品保持装置において、上記保持面に非晶質硬質炭素膜を被覆する。

請求項（抜粋）：

物品を吸着または載置して保持する保持面がセラミックスからなる物品保持装置において、上記保持面に非晶質硬質炭素膜を被覆したことを特徴とする物品保持装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , G11B 5/84 , H01L 21/027 , B25B 11/00

FI (4件)：

H01L 21/68 N , G11B 5/84 Z , B25B 11/00 A , H01L 21/30 503 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

低発塵性の装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-316276 出願人：株式会社ニコン
ウエハチャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-347940 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-053070

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