ウェハ搬送用キャリア

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-081398
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277602
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】隣接ウェハ先端同士が接触して損傷することが無いウェハ搬送用キャリアを提供する。【解決手段】キャリアの溝によるウェハ支持長さH1、ウェハ先端隙間寸法G、第1係数α、第2係数Cのとき、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面に対して、G/(2×H1×α)により求められる傾斜角度θで溝内壁が傾斜する。

請求項（抜粋）：

各ウェハ(1)を各溝(3)に部分的に挿入して当該ウェハを支持することにより50枚のウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアであって、上記溝内に挿入支持された上記ウェハのキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法をGとし、少なくとも上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性により決定される第1係数をαとし、上記ウェハの外周縁が上記溝の溝底面からの最も上方の部分と交差する第1交点(X1)と上記ウェハの外周縁が最も下の上記溝の溝底面と交差する第2交点(X2)との間の距離をウェハ支持長さH1とすると、上記溝の内壁は、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面(Y)に対して、θ=G/(2×H1×α)により求められる傾斜角度θで傾斜するようにしたことを特徴とするウェハ搬送用キャリア。

Fターム (5件)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031EA06 , 5F031PA20 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (2件)

基板支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-264668 出願人：東京エレクトロン株式会社
ウエハ用キャリア
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-220420 出願人：大日本インキ化学工業株式会社

審査官引用 (2件)

基板支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-264668 出願人：東京エレクトロン株式会社
ウエハ用キャリア
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-220420 出願人：大日本インキ化学工業株式会社

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