特許
J-GLOBAL ID：200903016283847399

ウエハ用キャリア

発明者：
瀬戸 正広

瀬戸 正広 について


出願人/特許権者：
大日本インキ化学工業株式会社

大日本インキ化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220420
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067888
出願日： 1997年08月15日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【解決手段】 ウエハを出し入れする開口部、互いに対向した一対の側壁部及び互いに対向した一対の端壁部を有し、側壁部の内面にウエハを支持する為に等間隔で多数の支持用リブが形成されたウエハ用キャリアに於いて、側壁部から途中までの支持用リブ内面が該側壁部に対して垂直方向であるか又はそれよりもやや外側に6度以下に開いており、且つそこから先端までの支持用リブ内面が側壁部から途中までの支持用リブ内面に比べてより外側に開いている。【効果】 ウエハ取出し口に於ける円盤状ウエハのスライド幅を約1mm以下にできることにより、ロボットのウエハの吸引位置が極めて正確になり、ロボットの移動による次の作業のためのウエハのより厳密な位置が確保できる。
請求項（抜粋）：
ウエハを出し入れする開口部、互いに対向した一対の側壁部及び互いに対向した一対の端壁部を有し、側壁部の内面にウエハを支持する為に等間隔で多数の支持用リブが形成されたウエハ用キャリアに於いて、側壁部から途中までの支持用リブ内面が該側壁部に対して垂直方向であるか又はそれよりもやや外側に開いており、且つそこから先端までの支持用リブ内面が側壁部から途中までの支持用リブ内面に比べてより外側に開いていることを特徴とするウエハ用キャリア。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306
FI (3件)：
H01L 21/68 T ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/306 K
引用特許：
審査官引用 (3件)

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