特許

J-GLOBAL ID：200903014494278703

感放射線性樹脂組成物

発明者： 八子 由子
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-370249
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170951
出願日： 2003年10月30日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】可視光に対する透過率が高く、かつ放射線に対する感度が高い透明硬化樹脂パターンを形成し得る感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】不飽和カルボン酸から導かれる構成単位(a1)およびオキセタニル基を有する不飽和化合物(ただし、不飽和カルボン酸を除く。)から導かれる構成単位(a2)を含む共重合体(A)と、一般式(1)で示されるフェノール化合物のキノンジアジドスルホン酸エステル(B)とを含有する。(式中、Y1、Y2、Z1〜Z7は、それぞれ独立に、ハロゲンで置換されていてもよいアルキル基、水素、または水酸基を表わし、Y1およびY2からなる群から選ばれる少なくとも一つは水酸基であり、かつZ1〜Z7からなる群から選ばれる少なくとも二つは水酸基を表わす。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

不飽和カルボン酸から導かれる構成単位(a1)およびオキセタニル基を有する不飽和化合物(ただし、不飽和カルボン酸を除く。)から導かれる構成単位(a2)を含む共重合体(A)と、一般式(1)で示されるフェノール化合物のキノンジアジドスルホン酸エステル(B)とを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F7/038 ,  G03F7/022 ,  G03F7/029 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/038 503 ,  G03F7/022 601 ,  G03F7/029 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (17件)：

2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BD25 ,  2H025BE07 ,  2H025CA48 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-150080   出願人：ジェイエスアール株式会社

審査官引用 (4件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-150080   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 特開平3-185447
  
• カラーフィルター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-002210   出願人：住友化学工業株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-362900   出願人：住友化学工業株式会社