特許
J-GLOBAL ID：200903097509677424

感放射線性樹脂組成物

発明者：
八子 由子

八子 由子 について


出願人/特許権者：
住友化学工業株式会社

住友化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-362900
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163923
出願日： 2003年10月23日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】 着色がなく可視光に対する透過率が高く、十分な耐溶剤性を有する透明硬化樹脂パターンを形成し得て、また形状のよい透明硬化樹脂パターンを形成し得る感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 バインダー樹脂として、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位(a1)およびオキセタニル基を有する不飽和化合物(ただし、不飽和カルボン酸を除く。)から導かれる構成単位(a2)を含む共重合体(A)、キノンジアジド化合物(B)およびカチオン重合開始剤(C)としてヘキサフルオロアンチモネートアニオンとオニウムカチオンとからなる塩を含有する感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
バインダー樹脂として、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位(a1)およびオキセタニル基を有する不飽和化合物(ただし、不飽和カルボン酸を除く。)から導かれる構成単位(a2)を含む共重合体(A)、 キノンジアジド化合物(B)および カチオン重合開始剤(C)としてヘキサフルオロアンチモネートアニオンとオニウムカチオンとからなる塩を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F7/032 ,  G03F7/029 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027
FI (4件)：
G03F7/032 501 ,  G03F7/029 ,  G03F7/40 ,  H01L21/30 502R
Fターム (23件)：
2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BD25 ,  2H025BE01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096HA03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (1件)
  • 感放射線性樹脂組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-150080   出願人：ジェイエスアール株式会社

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