特許
J-GLOBAL ID：200903014571017497

反射縮小投影光学系

発明者：
高橋 友刀

高橋 友刀 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266124
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098227
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】従来の3枚構成による反射縮小投影光学系における凸面鏡は、とかくパワーがきつくなりすぎ、収差を発生させやすい構造となっている。本発明では、この欠点を回避する。【解決手段】第1面上の物体を第2面上に縮小結像する反射縮小投影光学系において、相対する2つの凹面反射鏡と、該相対する2つの凹面反射鏡の中側に、相対する2つの凸面反射鏡を少なくとも1組と、開口絞りと、を含み、該開口絞りは、前記相対する2つの凹面反射鏡のうち前記第2面に近い凹面反射鏡と、前記相対する2つの凸面反射鏡のうち前記第2面に近い凸面反射鏡と、の間で、且つ、特定の配置条件を満足する位置に、配置されることを特徴とする反射縮小投影光学系を提供する。
請求項（抜粋）：
第1面上の物体を第2面上に縮小結像する反射縮小投影光学系において、相対する2つの凹面反射鏡と、該相対する2つの凹面反射鏡の中側に、相対する2つの凸面反射鏡を少なくとも1組と、開口絞りと、を含み、該開口絞りは、前記相対する2つの凹面反射鏡のうち前記第2面に近い凹面反射鏡と、前記相対する2つの凸面反射鏡のうち前記第2面に近い凸面反射鏡と、の間で、且つ、以下の配置条件を満足する位置に、配置されることを特徴とする反射縮小投影光学系。0.1≦x/L≦0.9但し、Lは、前記第2面に近い凹面反射鏡から、前記第2面に近い凸面反射鏡まで、の光軸上の距離であり、xは、前記第2面に近い凸面反射鏡から、前記開口絞りまで、の光軸上の距離である。
IPC (3件)：
G02B 17/00 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G02B 17/00 A ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 517
Fターム (18件)：
2H087KA21 ,  2H087NA04 ,  2H087NA05 ,  2H087RA32 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  2H097AB09 ,  2H097CA13 ,  2H097CA15 ,  2H097GB01 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25 ,  9A001BB05 ,  9A001JJ35 ,  9A001KK16 ,  9A001LL02
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特開平4-262524
  • 集光光学系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-330628   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 特開平3-103809
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