特許

J-GLOBAL ID：200903014612336870

弾性表面波素子及びその製造方法

発明者： 尾崎 恭輔 ,  高橋 秀幸 ,  佐藤 崇 ,  和賀 聡 ,  池田 剛 ,  目黒 利浩
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (2件)： 野▲崎▼ 照夫 ,  三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-415839
公開番号（公開出願番号）：特開2005-176152
出願日： 2003年12月15日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】 温度特性及び共振器特性に優れた弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 圧電性基板12及びくし歯状電極部13、14の上は、絶縁性薄膜20を介して絶縁層21によって覆われている。圧電性基板12はLiTaO3で形成され、絶縁性薄膜20及び絶縁層21は酸化ケイ素によって形成されている。さらに、絶縁層21の上面を意図的に平坦面にすることにより弾性表面波の伝播効率の低下を抑えることができ共振器の挿入損失の増加を低減することができる。また、絶縁層21の上面21aが平坦面であると、弾性表面波素子の温度変化に伴う共振周波数及び反共振周波数の変動を小さくすることができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧電性基板と、前記圧電性基板上に薄膜形成されたくし歯状電極部を有する弾性表面波素子において、 前記圧電性基板の上が、前記圧電性基板の温度-弾性定数変化特性と逆方向の温度-弾性定数変化特性を持つ絶縁性材料からなる絶縁層によって覆われており、前記絶縁層の上面が平坦面であることを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2件)：

H03H9/145 ,  H03H3/08

FI (2件)：

H03H9/145 C ,  H03H3/08

Fターム (8件)：

5J097AA01 ,  5J097AA21 ,  5J097BB01 ,  5J097DD29 ,  5J097FF03 ,  5J097HA03 ,  5J097HB08 ,  5J097KK09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 高安定高結合弾性表面波基板を用いた高周波弾性表 面波フィルタ及び弾性表面波機能素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-229861   出願人：山之内和彦
• 表面波共振子フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-064396   出願人：株式会社村田製作所