特許
J-GLOBAL ID：200903014650977404

シート貼付装置及び貼付方法

発明者：
野中 英明

野中 英明 について

, 
小林 賢治

小林 賢治 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-338920
公開番号（公開出願番号）：特開2007-149764
出願日： 2005年11月24日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：
【課題】接着シートの張力を測定して予め設定張力に調整し、押圧ローラの移動量に比例して貼付角度維持手段の繰出ヘッドを昇降させることで、所定の張力にてシートの貼付を行うことのできる装置及び方法を提供すること。【解決手段】半導体ウエハWの面に臨む位置に接着シートSを繰り出すシート繰出ユニット12と、接着シートSを押圧して当該接着シートSをウエハWに貼付する押圧ローラ14とを備えてシート貼付装置10が構成されている。シート繰出ユニット12は、当該シート繰出ユニット12と押圧ローラ14との間の接着シートSの張力を測定する張力測定手段35と貼付角度θを維持する繰出ヘッド49を備えた貼付角度維持手段37とを含む。接着シートSの貼付直前に張力を測定して調整した後、押圧ローラ14の移動量に比例するように繰出ヘッド49を下降させることで貼付角度θが維持されて張力が一定に保たれる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状部材の面に臨む位置にシートを繰り出すシート繰出ユニットと、前記シートに押圧力を付与して板状部材の一端から他端に向かってシートを貼付する押圧ローラとを備えたシート貼付装置において、 前記シート繰出ユニットは、当該シート繰出ユニットと前記押圧ローラとの間のシートの張力を測定する張力測定手段と、前記板状部材に対してシートの貼付角度を一定に保つ方向に移動する繰出ヘッドを含む貼付角度維持手段とを備え、 前記張力測定手段は、前記押圧ローラによって板状部材にシートが貼付される直前の張力を測定する一方、前記貼付角度維持手段の繰出ヘッドは、前記板状部材に対する押圧ローラの相対移動量に比例して移動することで貼付角度を略一定に保ってシートの張力が略一定に保たれることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (6件)：
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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