特許
J-GLOBAL ID：200903014689104165
カット面検査装置、及びカット面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
中村 聡延
, 江上 達夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-372764
公開番号（公開出願番号）：特開2006-177842
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 試料台に対する水晶板の姿勢に関わらず、正確に水晶板のカット面の評価を行うことが可能なカット面検査装置、及びカット面検査方法を提供する。【解決手段】結晶格子面に対して所定の角度でカットされた試料を支持する試料台と、試料台を回転させる回転手段と、試料で回折したX線の回折X線を検出するX線検出手段と、検出する反射レーザビーム検出手段と、検出された反射レーザビームに基づいて、基準水平面に対するカット面のカット面実角度を検出するカット面実角度検出手段と、カット面実角度を用いて、基準水平面に対する試料台の回転角を補正する補正手段と、補正された回転角、及び検出された回折X線に基づいて、カット面の評価を行う評価手段と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
結晶格子面に対して所定の角度でカットされた試料を支持する試料台と、
前記試料のカット面に対して水平な軸まわりに、前記試料台を回転させる回転手段と、
前記試料に対してX線を照射するX線照射手段と、
前記試料で回折した前記X線の回折X線を検出するX線検出手段と、
前記試料に対してレーザビームを照射するレーザビーム照射手段と、
前記試料で反射した前記レーザビームの反射レーザビームが入射され、当該反射レーザビームを検出する反射レーザビーム検出手段と、
検出された前記反射レーザビームに基づいて、基準水平面に対する前記カット面のカット面実角度を検出するカット面実角度検出手段と、
前記カット面実角度を用いて、前記基準水平面に対する前記試料台の回転角を補正する補正手段と、
補正された前記回転角、及び検出された前記回折X線に基づいて、前記カット面の評価を行う評価手段と、を備えることを特徴とするカット面検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2G001AA01
, 2G001AA07
, 2G001BA15
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001CA07
, 2G001GA01
, 2G001JA08
, 2G001KA08
, 2G001LA11
, 2G001PA12
