特許

J-GLOBAL ID：200903014734420049

カーボンナノチューブパッド及び電子デバイス

発明者： 木村 孝浩 ,  中村 友二 ,  粟野 祐二 ,  二瓶 瑞久
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (4件)： 眞鍋 潔 ,  柏谷 昭司 ,  渡邊 弘一 ,  伊藤 壽郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-303944
公開番号（公開出願番号）：特開2007-115798
出願日： 2005年10月19日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】 カーボンナノチューブパッド及び電子デバイスに関し、通常のプローブを低押圧力で押圧して検査を可能にするためのパッド構造を提供する。【解決手段】 配向性を有する複数のカーボンナノチューブ4でパッドを構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

配向性を有する複数のカーボンナノチューブを含むことを特徴とするカーボンナノチューブパッド。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  G01R 31/26

FI (5件)：

H01L21/66 E ,  H01L21/88 M ,  H01L21/88 T ,  H01L21/66 B ,  G01R31/26 J

Fターム (31件)：

2G003AA07 ,  2G003AG12 ,  2G003AH00 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AD08 ,  4M106AD21 ,  4M106AD22 ,  4M106AD23 ,  4M106AD24 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD06 ,  5F033HH00 ,  5F033HH07 ,  5F033HH09 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP02 ,  5F033PP06 ,  5F033PP07 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033RR21 ,  5F033SS11 ,  5F033VV07 ,  5F033XX19

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体素子検査装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-274997   出願人：株式会社日立製作所
• プローブ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-063228   出願人：株式会社オクテック, 東京エレクトロン株式会社