特許
J-GLOBAL ID：200903014761916226
回転変位型光変調素子及びこれを用いた光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-237595
公開番号（公開出願番号）：特開2007-052256
出願日： 2005年08月18日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：
【課題】回転変位型光変調素子のマイクロミラーを小さな力で駆動できるようにし、高速応答可能とする。【解決手段】基板30上に形成されたマイクロミラー37と、ミラー37を傾動自在に基板30に支持するヒンジ部材とをマイクロエレクトロメカニカル技術を用いて形成した回転変位型光変調素子において、ミラー37を回転軸周りに傾動させたときミラー37の裏側の周端を基板30に非接触に保ったまま該裏側の内面に当接してミラー37の傾動を停止させミラー37を傾斜状態に保持する突部38a,38bを、前記基板に対し高さ方向に隆起させて形成する。ミラー37と突部38aとの間に意図しない吸着力Fsが発生していても、回転軸からFs発生箇所までの距離が短いため、小さな力でFsに抗してミラー37を駆動でき、高速応答が可能となる。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
基板上に形成されたマイクロミラーと、該マイクロミラーを傾動自在に前記基板に支持するヒンジ部材とをマイクロエレクトロメカニカル技術を用いて形成した回転変位型光変調素子において、前記マイクロミラーを回転軸周りに傾動させたとき該マイクロミラーの裏側の周端を前記基板に非接触に保ったまま該裏側の内面に当接して該マイクロミラーの傾動を停止させ該マイクロミラーを傾斜状態に保持する突部を、前記基板に対し高さ方向に隆起させて形成したことを特徴とする回転変位型光変調素子。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81B 7/04
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81B7/04
2H041AA14
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
