小型ゲートバルブ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小橋正明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-542123
公開番号（公開出願番号）：特表2003-532842
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2003年11月05日
要約：

【要約】チャンバを分離し及び/又はその中の圧力又は真空を維持するために半導体処理チャンバをシールするために使用することが可能なゲートバルブ組立体。本発明は、直線状軸方向シャフトへ結合されているゲートを有している。該軸方向シャフトは単一動作アクチュエータを使用して駆動される。本発明のゲートはシャフトに対して傾斜した表面を有している。該表面は傾斜されているので、該ゲートは、該軸方向シャフトの運動によって、同様に傾斜されているゲート着座部表面に対して押付けることが可能である。該傾斜表面は、該軸方向シャフトによって与えられる軸方向のシール力を該ゲートの横方向移動を必要とすることなしに積極的な横方向シール力へ変換する。

請求項（抜粋）：

迅速熱処理用リアクタに使用するバルブ組立体において、中心軸を画定する本体、前記中心軸と相対的に傾斜表面を具備しており前記本体内に配設されているゲート、前記バルブが開いている第一位置と前記バルブが閉じている第二位置との間で前記中心軸に沿って前記ゲートを直線的に移動させる動作組立体、を有しているバルブ組立体。

IPC (4件)：

F16K 51/02 , F16K 3/12 , H01L 21/02 , H01L 21/68

FI (4件)：

F16K 51/02 B , F16K 3/12 Z , H01L 21/02 Z , H01L 21/68 A

Fターム (20件)：

3H053AA02 , 3H053BA01 , 3H053BA11 , 3H053BA35 , 3H053BA38 , 3H053BB35 , 3H053BB38 , 3H053BD01 , 3H053BD02 , 3H053BD03 , 3H053DA09 , 3H066AA03 , 3H066BA19 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA14 , 5F031FA01 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031NA09

引用特許：

審査官引用 (9件)

真空バルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-318681 出願人：山形日本電気株式会社
特許第2631356号
特開昭61-164220

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