偏光を利用した走査型近視野顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-134178
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325840
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】偏光を利用した走査型近視野顕微鏡を用い、試料の円二色性や旋光性を高感度、高分解能、定量的に観察、測定することを可能とする。【解決手段】先鋭化された先端に微小開口を有する光ファイバープローブ1を試料2に近接させ、微小開口からの近視野光で試料2を照明しながらピエゾアクチュエーター15でxy方向に走査する。円偏光変調法と組み合わせるため、光ファイバープローブ1に入射する光にピエゾ光学変調器10を用いて周波数p(Hz)の光学遅延を与える。微小開口から出射した近視野光は、試料2を透過したのち検光子5を経て受光素子7で受光される。受光素子7の出力をロックインアンプ8に入力し、p成分や2p成分をロックイン検波してコントローラー16で画像化する。

請求項（抜粋）：

プローブの先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面との間隔を、前記先端部と前記表面との間に原子間力あるいはその他の相互作用に関わる力が作用する動作距離内に近づけた状態で、2次元的な走査手段によって前記表面を走査するとともに、前記表面の微小領域に対して光照射あるいは光検出を行い、試料形状と2次元光学情報を同時に測定する走査型近視野顕微鏡において、光源と、先鋭な先端部を有するプローブと、前記先端部と前記表面との間隔を前記先端部と前記表面との間に原子間力あるいはその他の相互作用に関わる力が作用する動作距離内に近づけた状態に保つ手段と、前記光源からの光を前記先端部と前記表面との間で相互作用させることにより前記試料あるいは媒体の微小領域の光学情報を有する偏光光を得る手段と、前記偏光光を受光する受光手段と、前記光源と前記受光手段までの光路中に配置されて周期的な光学遅延を与える変調手段と、前記受光手段の出力から前記変調手段の変調周波数の整数倍成分を取り出す検波手段からなることを特徴とする偏光を利用した走査型近視野顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 11/30 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (4件)：

G01N 37/00 D , G01B 11/30 Z , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

特許第5457536号
磁区観察用近接場走査型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-053813 出願人：株式会社ニコン
走査型近視野顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-054092 出願人：セイコー電子工業株式会社

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