特許
J-GLOBAL ID：200903014913173011
磁気ヘッド用研磨装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-179865
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066893
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 局所的に大きく研磨されたセラミックバーに対して、セラミックバー上の各素子毎に応じた更なる研磨加工を施すことを可能とし、かつセラミックバーを保持するための治具を用いずに当該加工に要するコストを低減せしめる研磨装置および研磨方法を提供する。【解決手段】 ゴム等の弾性体表面でセラミックバーを保持する保持部を有する被研磨物押し付け機構80を有し、この被研磨物押し付け機構80の保持部の弾性体裏面に複数アクチュエータ等を配置する。セラミックバーを研磨面に押圧する際に、これらアクチュエータによって弾性体を介してセラミックバーの特定部分を変形させるあるいはつよく押圧することとして各素子毎に応じた研磨を可能とする。
請求項（抜粋）：
一方向に長い被研磨物であって、電気-磁気変換素子および磁気-電気変換素子の少なくとも一方からなる素子を前記長さ方向に複数個形成した被研磨物を研磨する研磨装置であって、前記研磨装置は、研磨面を有して回転駆動される研磨用定盤と、前記研磨面に対して移動可能に配置された研磨ヘッド取付け用フレームと、前記研磨ヘッド取付けフレームに支持される研磨ヘッドとを有し、前記研磨ヘッドは、前記長さ方向に延在して表面上所定位置において前記被研磨物を保持する弾性体からなる保持部と、前記保持部を支持し前記保持部と一体で前記研磨面に対して昇降する昇降部と、前記保持部と共に前記被研磨物を変形させる負荷を前記保持部に与える複数の保持部変形手段とを有することを特徴とする装置。
IPC (4件)：
B24B 19/26
, G11B 5/127
, G11B 5/31
, G11B 5/39
B24B 19/26 A
, G11B 5/127 Q
, G11B 5/31 M
, G11B 5/39
3C049AA07
, 3C049AA12
, 3C049AB04
, 3C049AB08
, 3C049CA05
, 3C049CB01
, 5D033DA11
, 5D033DA21
, 5D033DA31
, 5D034DA04
, 5D034DA07
, 5D093FA22
, 5D093FA26
