特許
J-GLOBAL ID：200903014982271106

固体撮像素子用カバーガラス及びその製造方法

発明者：
河本 徹

河本 徹 について


出願人/特許権者：
日本電気硝子株式会社

日本電気硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 宮越 典明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-200905
公開番号（公開出願番号）：特開2005-200289
出願日： 2004年07月07日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】固体撮像素子用カバーガラスとして、高い清澄性を有し、その結果として充分な均質性を実現でき、種々の特性を満足する固体撮像素子用カバーガラス及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の固体撮像素子用カバーガラスは、無機酸化物ガラス製の固体撮像素子用カバーガラスにおいて、ヘリウム及びネオンの中から少なくとも一種の成分を0.0001〜2μl(マイクロリットル)/g(0°C、1atm)含有し、清澄剤成分を0.001〜3質量%であって、SO3、Cl、H2O、Sn、Sb、Ce及びFの中から選択される一種以上の成分を含有する。また本発明の製造方法は、ガラス原料を混合して耐熱性容器内に投入する工程と、耐熱性容器内でガラス原料混合物を溶融して溶融ガラスにする工程と、溶融ガラスにヘリウム、ネオンを所定量導入する工程よりなることを特徴とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
無機酸化物ガラス製の固体撮像素子用カバーガラスにおいて、 ヘリウム及び/又はネオンを0.0001〜2μl/g(0°C、1atm)含有することを特徴とする固体撮像素子用カバーガラス。
IPC (6件)：
C03C3/091 ,  C03C3/093 ,  C03C3/095 ,  C03C3/11 ,  G02B5/00 ,  H01L27/14
FI (6件)：
C03C3/091 ,  C03C3/093 ,  C03C3/095 ,  C03C3/11 ,  G02B5/00 Z ,  H01L27/14 D
Fターム (99件)：
2H042AA07 ,  2H042AA22 ,  4G062AA01 ,  4G062BB01 ,  4G062BB05 ,  4G062CC04 ,  4G062DA06 ,  4G062DB02 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062DC03 ,  4G062DC04 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DE02 ,  4G062DE03 ,  4G062DE04 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA02 ,  4G062EA03 ,  4G062EA04 ,  4G062EB01 ,  4G062EB02 ,  4G062EB03 ,  4G062EB04 ,  4G062EC01 ,  4G062EC02 ,  4G062EC03 ,  4G062EC04 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062ED03 ,  4G062ED04 ,  4G062EE01 ,  4G062EE02 ,  4G062EE03 ,  4G062EE04 ,  4G062EF01 ,  4G062EF02 ,  4G062EF03 ,  4G062EF04 ,  4G062EG01 ,  4G062EG02 ,  4G062EG03 ,  4G062EG04 ,  4G062FA01 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FE02 ,  4G062FE03 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062FL02 ,  4G062FL03 ,  4G062GA01 ,  4G062GB01 ,  4G062GB02 ,  4G062GB03 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062GE02 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ04 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ06 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM23 ,  4G062NN34 ,  4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118HA02 ,  4M118HA26
引用特許：
出願人引用 (5件)
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