特許

J-GLOBAL ID：200903014986370133

薬液供給装置

発明者： 平岡 尚樹 ,  平出 健志
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315197
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126764
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】処理装置に薬液を安定して供給することができる薬液供給装置を提供すること。【解決手段】スラリ供給装置11には、研磨装置18a,18bにおいて1回の処理に使われるスラリの必要量に応じた容量に設定された混合タンク12a、12bを設けた。制御装置41は、各混合タンク12a,12bに対して、必要量だけスラリ原液15,16と純水を供給し、希釈・混合してスラリ17を生成する。そして、制御装置41は、生成したスラリ17を研磨装置18a,18bに供給するようにした。従って、各混合タンク12a,12bには、研磨装置18a,18bに必要なだけのスラリ17が生成されるため、古いスラリが発生しない。

請求項（抜粋）：

原液を希釈又は複数の原液を混合して薬液を生成し、該薬液を処理装置に供給する薬液供給装置であって、前記処理装置にて使用する薬液の使用量に対応した容量に設定された複数の混合タンクと、前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管と、前記原液を前記薬液の組成に対応して前記混合タンクに供給する原液供給手段と、前記複数の混合タンクのうちの1つを順次選択し、選択した混合タンクを使用して薬液を生成する薬液生成手段と、薬液の生成が終了した一の混合タンクとメイン循環配管により循環経路を構成し、該経路に前記薬液を循環させる薬液循環手段と、循環中の薬液を処理装置に供給する薬液供給手段と、前記複数の混合タンクに設けられ、混合タンク内の液面レベルを検出する液面検出手段と、前記液面検出手段の検出結果に基づいて、薬液の作成が終了した他の混合タンクと前記メイン循環配管を新たな循環経路とする循環切り換え手段とを備えた薬液供給装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• スラリ供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-107681   出願人：東芝機械株式会社, 株式会社東芝
• 液体供給装置とその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-295195   出願人：富士通株式会社