SEMの収差自動補正方法及び収差視覚化方法並びに収差自動補正装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井島藤治 , 鮫島信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-113001
公開番号（公開出願番号）：特開2005-302359
出願日： 2004年04月07日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】本発明は、収差補正に必要な軸ずれ補正・フォーカス合わせ等も含めて、収差の測定から補正装置に対する制御までをコンピュータで自動的に行ない、通常のユーザによっても収差補正を行なうことができるSEMの収差自動補正方法及び収差視覚化方法並びら収差自動補正装置を提供することを目的としている。【解決手段】 SEMの画像信号を入力するインタフェースと、SEMを制御するインタフェースと、SEMの収差を補正する収差補正装置を制御するインタフェースと、これらインタフェースと接続され、各種の制御動作を行なうコンピュータ10とを具備し、軸ずれを補正する軸ずれ補正手段と、焦点ずれを補正するフォーカス合わせ補正手段と、色収差を補正する色収差補正手段と、開口収差を補正する開口収差補正手段とをコンピュータ内部に持つように構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

標準的な試料を用いて、通常の操作によってフォーカスや非点をある程度合わせておき、初期状態で得られる第1の画像と、電子線の断面がある方向を向いた線の状態にして得た第2の画像を得、更に第2の画像とは直角方向を向いた線の状態にして第3の画像を得、これら第2及び第3の画像に対して第1の画像を用いたデコンボリューションを行なうことによって電子線の軸ずれが画像の中心からどれだけずれているかを測定して、該ずれがなくなるようにSEMの対物レンズと収差補正装置の静電場にフィードバックをかける軸ずれ補正を行ない、次に、軸ずれの補正に続いて初期状態から四重極電場の値を変えて元の状態よりアンダーフォーカスの状態で第1の画像を得、次に元の状態よりオーバーフォーカスの状態で第2の画像を得、これらの画像に対して自己相関演算を行なってこの自己相関画像のピークの幅に基づいてフォーカスのずれ具合を測定し、収差補正装置の四重極電場若しくは静電場と四重極磁場にフィードバックをかけるフォーカス合わせ補正を行ない、次に、初期状態から電子線の加速電圧を前後にすこしだけ振ってやって2つの画像を得、加速電圧増減によって生じるフォーカスのずれを自己相関演算を行なってその結果に基づいて収差補正装置の静電場と四重極磁場にフィードバックかける色収差補正を行ない、次に、初期状態で得られる第1の画像と、収差補正装置の四重極電場の値を変えて元の状態よりアンダーフォーカスの状態にして第2の画像を得、更に前記四重極電場の値を変えて元の状態よりオーバーフォーカス状態にして第3の画像を得、第2及び第3の画像に対して第1の画像を用いたデコンボリューションを行ない、その結果に基づいて開口収差が小さくなるように収差補正装置の四重極電場、六極電場、八極電場にフィードバックをかける開口収差補正を行なう、ようにしたことを特徴とするSEMの収差自動補正方法。

IPC (2件)：

H01J37/153 , H01J37/22

FI (2件)：

H01J37/153 B , H01J37/22 502A

Fターム (3件)：

5C033JJ01 , 5C033JJ07 , 5C033MM05

引用特許：

出願人引用 (2件)

幾何光学収差を決定する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-555115 出願人：ツェーエーオーエスコレクテッドエレクトロンオプチカルシステムズゲーエムベーハー, 日本電子株式会社
ベストフォーカスの検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-263779 出願人：住友重機械工業株式会社

審査官引用 (3件)

幾何光学収差を決定する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-555115 出願人：ツェーエーオーエスコレクテッドエレクトロンオプチカルシステムズゲーエムベーハー, 日本電子株式会社
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-000216 出願人：株式会社日立製作所
粒子光学機器のレンズ収差補正用補正装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-541912 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

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