特許
J-GLOBAL ID：200903015143981994
被加工物保持治具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-123647
公開番号（公開出願番号）：特開2005-305573
出願日： 2004年04月20日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 被加工物を所定の分割予定ラインに沿って切断しても、バラバラにならず被加工物の形態を維持することができる被加工物保持治具を提供する。 【解決手段】 所定の方向に延びる複数の第1の分割予定ラインと該複数の第1の分割予定ラインと交差して形成された複数の第2の分割予定ラインを備えた被加工物を、複数の第1の分割予定ラインおよび複数の第2の分割予定ラインに沿って切断する加工装置の被加工物保持テーブル上に、被加工物を保持して装着する被加工物保持治具であって、被加工物に形成された複数の第1の分割予定ラインまたは複数の第2の分割予定ラインに対応する複数の貫通溝と、被加工物の複数の第1の分割予定ラインと複数の第2の分割予定ラインによって区画された複数の領域に対応する位置に形成され上面に開口する複数の吸引孔と、複数の貫通溝と交差しない位置に形成され複数の吸引孔と連通する吸引経路とを備えている。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
所定の方向に延びる複数の第1の分割予定ラインと該複数の第1の分割予定ラインと交差して形成された複数の第2の分割予定ラインを備えた被加工物を、該複数の第1の分割予定ラインおよび該複数の第2の分割予定ラインに沿って切断する加工装置の被加工物保持テーブル上に、該被加工物を保持して装着する被加工物保持治具であって、
該被加工物に形成された複数の第1の分割予定ラインまたは複数の第2の分割予定ラインに対応する複数の貫通溝と、該被加工物の複数の第1の分割予定ラインと複数の第2の分割予定ラインによって区画された複数の領域に対応する位置に形成され上面に開口する複数の吸引孔と、該複数の貫通溝と交差しない位置に形成され該複数の吸引孔と連通する吸引経路と、を備えている、
ことを特徴とする被加工物保持治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24C5/02 B
, H01L21/304 622H
