特許
J-GLOBAL ID：200903015172828542
液晶表示装置用透明導電性基材
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 博司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-168788
公開番号（公開出願番号）：特開2004-014400
出願日： 2002年06月10日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】低抵抗で、かつ、光透過性に優れ、良好に表示できる液晶表示装置用透明導電性基材とすること。【解決手段】大気圧または大気圧近傍の圧力下において、対向する電極間に、100kHzを越える高周波電圧で、かつ、1W/cm2以上の電力を供給し放電させることにより、反応性ガスをプラズマ状態とし、前記プラズマ状態の反応性ガスに基材を晒すことによって透明導電膜を形成し、液晶表示装置用透明導電性基材とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
基材上に透明導電膜が形成された液晶表示装置用透明導電性基材であって、
前記透明導電膜は、大気圧又は大気圧近傍の圧力下において、対向する電極間に、100kHzを越える高周波電圧で、かつ、1W/cm2以上の電力を供給し放電させることにより、反応性ガスをプラズマ状態とし、前記プラズマ状態の反応性ガスに前記基材を晒すことによって形成される膜であることを特徴とする液晶表示装置用透明導電性基材。
IPC (4件)：
H01B5/14
, C23C16/40
, G02F1/1333
, G02F1/1343
H01B5/14 A
, C23C16/40
, G02F1/1333 500
, G02F1/1343
2H090JA06
, 2H090JB03
, 2H090JC07
, 2H090JD11
, 2H090JD12
, 2H090KA05
, 2H090KA08
, 2H090LA01
, 2H092HA03
, 2H092HA04
, 2H092MA08
, 2H092NA28
, 2H092PA01
, 2H092QA07
, 2H092QA10
, 4K030AA11
, 4K030AA16
, 4K030AA17
, 4K030AA20
, 4K030BA11
, 4K030BA16
, 4K030BA21
, 4K030BA42
, 4K030BA45
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030JA16
, 4K030JA18
, 4K030LA18
, 5G307FA01
, 5G307FA02
, 5G307FB01
, 5G307FC09
