特許
J-GLOBAL ID：200903015200989271
合成石英ガラス光学部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113828
公開番号（公開出願番号）：特開平11-302025
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】エキシマレーザなどの照射による透過率の低下のない合成石英ガラス光学部材を得る。【解決手段】ガラス形成原料を火炎加水分解させて形成される多孔質石英ガラス体を、フッ素化合物ガスおよび酸素ガスおよび不活性ガスの雰囲気中で800〜1300°Cにて加熱処理した後、酸素ガスおよび不活性ガス雰囲気中で1400°C以上に加熱して透明ガラス化する。
請求項（抜粋）：
紫外線波長域のレーザを照射して使用される合成石英ガラス光学部材の製造方法であって、ガラス形成原料を火炎加水分解させて形成される多孔質石英ガラス体を、フッ素化合物ガス、酸素ガスおよび不活性ガスの雰囲気中で800〜1300°Cにて加熱処理した後、酸素ガスおよび不活性ガス雰囲気中で1400°C以上に加熱して透明ガラス化して石英ガラス材を得る工程を含むことを特徴とする合成石英ガラス光学部材の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03B 20/00 E
, C03B 8/04 P
