特許

J-GLOBAL ID：200903015200989271

合成石英ガラス光学部材およびその製造方法

発明者： 生田 順亮 ,  菊川 信也 ,  下平 憲昭 ,  増井 暁夫
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113828
公開番号（公開出願番号）：特開平11-302025
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザなどの照射による透過率の低下のない合成石英ガラス光学部材を得る。【解決手段】ガラス形成原料を火炎加水分解させて形成される多孔質石英ガラス体を、フッ素化合物ガスおよび酸素ガスおよび不活性ガスの雰囲気中で800〜1300°Cにて加熱処理した後、酸素ガスおよび不活性ガス雰囲気中で1400°C以上に加熱して透明ガラス化する。

請求項（抜粋）：

紫外線波長域のレーザを照射して使用される合成石英ガラス光学部材の製造方法であって、ガラス形成原料を火炎加水分解させて形成される多孔質石英ガラス体を、フッ素化合物ガス、酸素ガスおよび不活性ガスの雰囲気中で800〜1300°Cにて加熱処理した後、酸素ガスおよび不活性ガス雰囲気中で1400°C以上に加熱して透明ガラス化して石英ガラス材を得る工程を含むことを特徴とする合成石英ガラス光学部材の製造方法。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/04

FI (2件)：

C03B 20/00 E ,  C03B 8/04 P

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-153133
  
• 透明石英ガラスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-042252   出願人：旭硝子株式会社
• 真空紫外用石英ガラスの製造方法 および石英ガラス光学部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-170984   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭62-153133