基板端縁洗浄装置および基板端縁洗浄方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-111163
公開番号（公開出願番号）：特開2002-015988
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】基板表面の所望の位置において溶解物を正確に吹き飛ばすことができるとともに、基板表面に塗布された薄膜の膜厚の均一性を乱すこと無く基板端縁を洗浄できる基板端縁洗浄装置および基板端縁洗浄方法を提供する。【解決手段】角型基板1を載置して真空吸着により保持する基板保持手段2の周囲4箇所それぞれに、角型基板1の表面の端縁に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する4本の溶剤ノズル3a...と、溶剤および溶解した不要薄膜を角型基板1の端縁の外方に吹き飛ばす4本のガスノズル4a...と、それらの溶剤および溶解した不要薄膜を吸引する排気管5...とが備えられる。溶剤ノズル3aは溶剤をスポット状に供給する。ガスノズル4aは、溶剤ノズル3aに近接したそれよりも角型基板1の中心側に針状の吐出部S2を配置し、スポット状にガスを供給し、溶剤ならびに溶剤によって溶解された溶解物をガスによって角型基板1の端縁の外方に吹き飛ばす。溶剤ノズル3aおよびガスノズル4aが取り付けられたノズルブロック10は角型基板1の端縁に沿って移動可能になっている。

請求項（抜粋）：

表面に薄膜が形成され、直線状の端縁を有する基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤ノズルと、溶剤によって溶解された溶解物をガスの吹き付けにより前記基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルと、溶剤および溶解物を吸引する排気管とを備えた基板端縁洗浄装置において、前記ガスを前記基板の表面にスポット状に吹き付けるガスノズルを複数設けるとともに、前記溶剤を前記基板の表面にスポット状に吹き付ける溶剤ノズルを複数設け、前記複数の溶剤ノズルを、基板の前記直線状の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い固定部材に対して、前記端縁に沿った長さ方向に沿って固定するとともに、前記複数のガスノズルを、前記複数の溶剤ノズルよりも基板の中心側の前記端縁に沿った長さ方向に沿って固定し、前記固定部材を前記直線状の端縁に対して該直線状の端縁に沿った方向に移動させる移動手段を設けたことを特徴とする基板端縁洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B08B 3/02 , B08B 5/00 , H01L 21/304 643

FI (4件)：

B08B 3/02 Z , B08B 5/00 A , H01L 21/304 643 Z , H01L 21/30 577

Fターム (25件)：

3B116AA02 , 3B116AA03 , 3B116AA46 , 3B116AB47 , 3B116BB21 , 3B116BB33 , 3B116BB72 , 3B116BB88 , 3B116BB90 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AA46 , 3B201AB47 , 3B201BB21 , 3B201BB33 , 3B201BB71 , 3B201BB88 , 3B201BB90 , 3B201BB95 , 3B201BB98 , 5F046JA02 , 5F046JA07 , 5F046JA08 , 5F046JA09 , 5F046JA15

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-065115
フオトレジスト除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-302450 出願人：東京エレクトロン株式会社
基板端縁洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-357131 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (4件)

特開平4-065115
基板端縁洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-357131 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平4-065115

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