特許
J-GLOBAL ID：200903015299968602

断面TEM観察用試料ホルダー

発明者：
薦田 弘敬

薦田 弘敬 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-027361
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199069
出願日： 1996年01月22日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 試料ホルダ-を装置取付部と試料作製台とから構成し、切り出した小片試料をこの試料作製台に取り付けたままFIB装置による加工が行なえ、加工終了後に装置取付部と試料作製台とを容易に合体させることができる試料ホルダーを提供する。【解決手段】 断面TEM観察に供される試料13を保持して集束イオンビ-ムにより試料加工を行なう際に用いる試料作製台11と、TEMに試料を取り付けるための装置取付部12と、から成り、該試料作製台と該装置取付部とを着脱自在に構成した。
請求項（抜粋）：
断面TEM観察に供される試料を保持して集束イオンビ-ムにより試料加工を行なう際に用いる試料作製台と、TEMに試料を取り付けるための装置取付部と、から成り、該試料作製台と該装置取付部とを着脱自在に構成したことを特徴とする断面TEM観察用試料ホルダ-。
IPC (4件)：
H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
H01J 37/20 A ,  H01J 37/317 B ,  H01L 21/66 S ,  G01N 1/28 W
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 集束イオンビーム装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-247601   出願人：株式会社日立製作所
  • 電子顕微鏡用試料傾斜装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-279275   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
  • 電子顕微鏡の試料装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-147692   出願人：日本電子株式会社
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審査官引用 (4件)
  • 集束イオンビーム装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-247601   出願人：株式会社日立製作所
  • 電子顕微鏡用試料傾斜装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-279275   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
  • 電子顕微鏡の試料装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-147692   出願人：日本電子株式会社
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