特許

J-GLOBAL ID：200903015313479440

露光装置

発明者： 山本 純正
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017094
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186076
出願日： 1996年01月05日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】 露光装置において、シャッタ羽根に要求される軽量さを満足させつつ、露光光によるシャッタ羽根のダメージの問題を解決する。【解決手段】 光源1と、この光源からの照明光の光路上に設けた遮光手段3,4とを備え、光源からの照明光により遮光手段を介して露光を行う露光装置において、遮光手段は、遮光時間の長さによって使い分けられる、少なくとも2種類のシャッタ羽根を具備する。

請求項（抜粋）：

光源と、この光源からの照明光の光路上に設けた遮光手段とを備え、前記光源からの照明光により前記遮光手段を介して露光を行う露光装置において、前記遮光手段は、遮光時間の長さによって使い分けられる、少なくとも2種類のシャッタ羽根を具備することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 E ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-204285   出願人：キヤノン株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-203429   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭61-007628