メソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法及びそれを用いたガスセンサー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-286306
公開番号（公開出願番号）：特開2006-098284
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：

【課題】センサーの感度をアップさせ、センサーの選択性を改善した光導波路センサー、その製造方法及びその用途を提供する。【解決手段】光導波路(Glass waveguiding layer)の表層に設置された光増幅層 (The tapered film of high-index material)の表面を、メソポーラス金属酸化物薄膜で被覆したことを特徴とするメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法、及びこれを、VOC, NOx, CO2, アンモニア、環境ホルモンから選ばれる1種以上の検出に用いること。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

光導波路の表層に設置された光増幅層の表面を、メソポーラス金属酸化物薄膜で被覆したことを特徴とするメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー。

IPC (2件)：

G01N 21/27 , G01N 21/64

FI (2件)：

G01N21/27 C , G01N21/64 G

Fターム (25件)：

2G043AA01 , 2G043BA12 , 2G043BA13 , 2G043BA14 , 2G043BA16 , 2G043CA01 , 2G043EA01 , 2G043GA07 , 2G043GB16 , 2G043HA05 , 2G043KA02 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G059AA05 , 2G059BB01 , 2G059CC04 , 2G059CC05 , 2G059CC12 , 2G059CC16 , 2G059EE01 , 2G059GG01 , 2G059HH02 , 2G059HH06 , 2G059JJ12 , 2G059JJ17

引用特許：

出願人引用 (1件)

メソポーラスSiO2薄膜を用いてSPV型(表面光電圧法)NOxガスセンサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-049001 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 周豪慎

審査官引用 (6件)

特表平5-501155
特公昭46-038398
CO2 濃度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-217603 出願人：株式会社中埜酢店

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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