特許
J-GLOBAL ID：200903015371741405

薄膜状物体の保持装置及び薄膜状物体を保持するためのハンド

発明者：
武田 英俊

武田 英俊 について

, 
山崎 順一

山崎 順一 について


出願人/特許権者：
コマツ工機株式会社

コマツ工機株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159272
公開番号（公開出願番号）：特開2007-329297
出願日： 2006年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】直径が異なる薄膜状物体を保持すると共に、保持したときにその薄膜状物体のエッジを破損しないようにする。【解決手段】ユニバーサルハンド1は、略円形を有する小径ウェハ31及び大径ウェハ32を吸着して保持可能な吸着面1Aを有する。吸着面1Aは、小径ウェハ31を吸着したときに、エッジ部31Aが吸着面1Aに接触しないように凹部13有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
略円形を有する薄膜状物体の保持装置であって、 第1の薄膜状物体(32)及び前記第1の薄膜状物体よりも直径の小さい第2の薄膜状物体(31)を吸着して保持可能な吸着面(1A)を有するハンド(1)を備え、 前記吸着面は、前記直径の小さい第2の薄膜状物体を吸着したときに、当該第2の薄膜状物体のエッジが前記吸着面に接触しないように凹部(13)有するように構成されている、薄膜状物体の保持装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  B25J 15/06
FI (2件)：
H01L21/68 B ,  B25J15/06 G
Fターム (13件)：
3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT12 ,  3C007MT10 ,  3C007NS09 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA08 ,  5F031PA16 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ウェーハ搬送手段
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-209320   出願人：株式会社ディスコ
  • 搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-269270   出願人：株式会社ディスコ
審査官引用 (4件)
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