感光性重合体組成物及びパターンの製造方法並びに電子部品

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131738
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312051
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、感度が高く、パタ-ン形状や未露光部の残膜率も良好なポジ型の耐熱性感光性重合体組成物、前記の組成物の使用により解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法及び信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、及び、(c)分子中にアルコキシメチル基とフェノール性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物及びパターンの製造方法並びに電子部品。

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、及び、(c)分子中にアルコキシメチル基とフェノール性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , C08G 73/10 , C08K 5/00 , C08K 5/02 , C08K 5/13 , C08L 79/08 , G03F 7/037 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (11件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 Z , C08G 73/10 , C08K 5/00 , C08K 5/02 , C08K 5/13 , C08L 79/08 A , C08L 79/08 Z , G03F 7/037 501 , H01L 21/312 B , H01L 21/30 502 R

Fターム (94件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025CB25 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM041 , 4J002EB006 , 4J002EB008 , 4J002EE056 , 4J002EJ067 , 4J002EQ016 , 4J002EQ036 , 4J002EV296 , 4J002GP03 , 4J043PA19 , 4J043PC065 , 4J043PC075 , 4J043PC105 , 4J043PC165 , 4J043QB23 , 4J043QB25 , 4J043QB31 , 4J043RA35 , 4J043RA39 , 4J043SA06 , 4J043SA17 , 4J043SA18 , 4J043SA43 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA26 , 4J043TA32 , 4J043TA71 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA032 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA222 , 4J043UA252 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA362 , 4J043UB011 , 4J043UB021 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB141 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB312 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA011 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA051 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA081 , 4J043VA091 , 4J043VA092 , 4J043VA102 , 4J043ZB22 , 4J043ZB50 , 5F058AC02 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5F058AH03

引用特許：

出願人引用 (3件)

感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-215475 出願人：日立化成工業株式会社, 株式会社日立製作所
感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-131739 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
特表平7-500932

審査官引用 (3件)

感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-215475 出願人：日立化成工業株式会社, 株式会社日立製作所
感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-131739 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
特表平7-500932

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