特許
J-GLOBAL ID:200903065931055135
感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
発明者:
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-215475
公開番号(公開出願番号):特開2001-042527
出願日: 1999年07月29日
公開日(公表日): 2001年02月16日
要約:
【要約】【課題】 感度が高く、現像後の加熱処理によるパターンの変形が小さい、ポジ型で耐熱性の感光性重合体組成物、解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法及び良好な形状のパターンを有することにより、信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】 (a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、(c)フェノール性水酸基を有する化合物及び(d)熱により(a)成分と架橋反応を起こす化合物を含有してなる感光性重合体組成物、この感光性重合体組成物を支持基板上に塗布し乾燥する工程、露光する工程、現像する工程及び加熱処理する工程を含むパターンの製造法並びにこの製造法により得られるパターンを表面保護膜又は層間絶縁膜として有してなる電子部品。
請求項(抜粋):
(a)アルカリ水溶液可溶性のポリイミド前駆体又はポリイミド、(b)光により酸を発生する化合物、(c)フェノール性水酸基を有する化合物及び(d)熱により(a)成分と架橋反応を起こす化合物を含有してなる感光性重合体組成物。
IPC (15件):
G03F 7/037
, C08G 59/50
, C08G 73/10
, C08K 5/03
, C08K 5/13
, C08K 5/19
, C08K 5/21
, C08K 5/28
, C08K 5/3492
, C08L 79/08
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/022
, G03F 7/40 501
, H01L 21/027
FI (16件):
G03F 7/037
, C08G 59/50
, C08G 73/10
, C08K 5/03
, C08K 5/13
, C08K 5/19
, C08K 5/21
, C08K 5/28
, C08K 5/3492
, C08L 79/08 A
, C08L 79/08 Z
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 Z
, G03F 7/022
, G03F 7/40 501
, H01L 21/30 502 R
Fターム (76件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AA10
, 2H025AA13
, 2H025AA20
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025BE07
, 2H025BE08
, 2H025CB25
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H096AA27
, 2H096BA09
, 2H096BA10
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 4J002CD052
, 4J002CD062
, 4J002CD112
, 4J002CD132
, 4J002CM041
, 4J002EB116
, 4J002EB119
, 4J002EJ037
, 4J002EN139
, 4J002EQ016
, 4J002EQ036
, 4J002ET018
, 4J002ET019
, 4J002EU188
, 4J002EV219
, 4J002EV296
, 4J002FD206
, 4J002GP03
, 4J036AA01
, 4J036AD08
, 4J036DB05
, 4J036FB14
, 4J036HA02
, 4J036JA09
, 4J043RA06
, 4J043RA35
, 4J043SA06
, 4J043SA62
, 4J043SB01
, 4J043TA14
, 4J043TA22
, 4J043UA121
, 4J043UA122
, 4J043UA132
, 4J043UA151
, 4J043UA152
, 4J043UA222
, 4J043UA261
, 4J043UA262
, 4J043UA362
, 4J043UB011
, 4J043UB021
, 4J043UB121
, 4J043UB151
, 4J043UB152
, 4J043UB281
, 4J043UB301
, 4J043UB302
, 4J043UB312
, 4J043UB401
, 4J043UB402
, 4J043YA06
引用特許:
出願人引用 (13件)
全件表示
審査官引用 (15件)
-
カラーフィルター
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-028464
出願人:住友化学工業株式会社
-
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-128166
出願人:東レ株式会社
-
レジスト組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-300001
出願人:住友化学工業株式会社
全件表示
前のページに戻る