感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131739
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312063
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、感度が高く、パターンの形状や未露光部の残膜率も良好なポジ型の感光性重合体組成物、前記の組成物の使用により、解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法及び信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(a)一般式(I)【化1】(式中、Uは4価の有機基を示し、Vは2価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有するポリアミド、(b)光により酸を発生する化合物、及び、(c)分子中にアルコキシメチル基とフェノール性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(I)【化1】(式中、Uは4価の有機基を示し、Vは2価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有するポリアミド、(b)光により酸を発生する化合物、及び、(c)分子中にアルコキシメチル基とフェノール性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/037 , C08G 69/26 , C08K 5/00 , C08K 5/03 , C08K 5/13 , C08L 77/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 , H01L 21/312

FI (11件)：

G03F 7/037 , C08G 69/26 , C08K 5/00 , C08K 5/03 , C08K 5/13 , C08L 77/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/022 , H01L 21/312 D , H01L 21/312 B

Fターム (46件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE01 , 2H025BE07 , 2H025CB23 , 2H025CB45 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J001DA01 , 4J001DB01 , 4J001DB02 , 4J001DB03 , 4J001EB36 , 4J001EB37 , 4J001EB46 , 4J001EC23 , 4J001FB03 , 4J001FB05 , 4J001FC03 , 4J001FC05 , 4J001GA13 , 4J001JA07 , 4J001JB01 , 4J001JB34 , 4J002CL071 , 4J002EB118 , 4J002EJ066 , 4J002EQ037 , 4J002EV297 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 5F058AC02 , 5F058AC07 , 5F058AD04 , 5F058AD08 , 5F058AF04 , 5F058AH02 , 5F058AH03

引用特許：

出願人引用 (6件)

感光性重合体組成物、レリーフパターンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-109443 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
感光性重合体組成物、レリ-フパタ-ンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-086995 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-319588 出願人：旭化成工業株式会社

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