特許
J-GLOBAL ID:200903015415669090

回転角度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野▲崎▼ 照夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-318981
公開番号(公開出願番号):特開2003-121197
出願日: 2001年10月17日
公開日(公表日): 2003年04月23日
要約:
【要約】【課題】大型化することなく検出精度を向上させて、回転角度を正確に検出することができる回転角度センサを提供する。【解決手段】 巨大磁気抵抗効果素子(GMR素子)R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8の形状異方性エネルギーをフリー磁性層の飽和磁化Jsと残留磁束密度Brを用いてA・Js・(Br/π)とあらわすとき、-350<A<0として、GMR素子Rの固定磁化の向きが互いに逆である対を、電極層5間の電気抵抗値の差動が出力されるように電気的に接続した。
請求項(抜粋):
磁化の向きが固定された固定磁性層と、非磁性導電層と、前記非磁性導電層を挟んで前記固定磁性層と対向するフリー磁性層とを有する積層体および前記積層体の両端に接続された電極層を備えた巨大磁気抵抗効果素子が設けられた固定部、および磁場を形成して前記固定部に対面して回転する回転部とを有し、前記固定部の表面に、固定磁性層の磁化の向きが互いに逆である前記巨大磁気抵抗効果素子が対を成して設けられているとともに、対を成す前記巨大磁気抵抗効果素子は、その抵抗値の差が出力されるように接続されて、前記回転部から前記巨大磁気抵抗効果素子に与えられる前記固定部の表面に平行な磁場成分が検出される回転角度センサにおいて、前記巨大磁気抵抗効果素子は、前記積層体の大きさ寸法が1mm以下であり、前記フリー磁性層の形状異方性エネルギーを、前記フリー磁性層を形成する磁性材料の飽和磁化Jsと、前記フリー磁性層を形成する磁性材料の残留磁束密度Brとを用いてA・Js・(Br/π)と表したときに、-350<A<0であることを特徴とする回転角度センサ。
IPC (2件):
G01D 5/18 ,  H01L 43/08
FI (4件):
G01D 5/18 L ,  H01L 43/08 A ,  H01L 43/08 U ,  H01L 43/08 Z
Fターム (9件):
2F077CC02 ,  2F077CC08 ,  2F077JJ01 ,  2F077JJ04 ,  2F077JJ09 ,  2F077JJ23 ,  2F077VV02 ,  2F077VV11 ,  2F077VV33
引用特許:
出願人引用 (3件)

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