特許

J-GLOBAL ID：200903015457503175

レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置

発明者： 空田 和彦 ,  山口 友之
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-012830
公開番号（公開出願番号）：特開2003-211277
出願日： 2002年01月22日
公開日（公表日）： 2003年07月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 グリーンシートにレーザビームを照射し、開口率の大きな穴を形成し、加工時の噴出物の付着を防止し、かつグリーンシートを保持している定盤に与えるダメージを軽減することができるグリーンシート穴あけ加工方法を提供する。【解決手段】 キャリアシート上に焼成前のセラミック材料からなるグリーンシートが密着した積層シート21の、グリーンシート側の表面上に、保護シート22を密着させる。保護シート側またはキャリアシート側から、グリーンシートにレーザビームを入射させ、レーザビームのエネルギによって、保護シート及びキャリアシートのうちレーザビームの入射側のシート、及びグリーンシートに穴を形成する。保護シート及びキャリアシートを、穴が形成されたグリーンシートから剥がす。

請求項（抜粋）：

キャリアシート上に焼成前のセラミック材料からなるグリーンシートが密着した積層シートの、前記グリーンシート側の表面上に、保護シートを密着させる工程と、前記保護シート側または前記キャリアシート側から、前記グリーンシートにレーザビームを入射させ、該レーザビームのエネルギによって、前記保護シート及び前記キャリアシートのうちレーザビームの入射側のシート、及び前記グリーンシートに穴を形成する工程と、前記保護シート及び前記キャリアシートを、穴が形成された前記グリーンシートから剥がす工程とを有するグリーンシート穴あけ加工方法。

IPC (6件)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/16 ,  B23K 26/18 ,  B28B 11/12 ,  H05K 3/00 ,  B23K101:40

FI (6件)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/16 ,  B23K 26/18 ,  B28B 11/12 ,  H05K 3/00 N ,  B23K101:40

Fターム (10件)：

4E068AF01 ,  4E068AF02 ,  4E068CB05 ,  4E068CG05 ,  4E068DA14 ,  4E068DB12 ,  4G055AA08 ,  4G055AC00 ,  4G055AC09 ,  4G055BA83

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レーザ加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-356478   出願人：新日鐵化学株式会社
• 積層型セラミック電子部品の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-097439   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平4-196194