特許
J-GLOBAL ID：200903015465153612

リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について

, 
影山 滋樹

影山 滋樹 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-258180
公開番号（公開出願番号）：特開2006-074961
出願日： 2004年09月06日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】 温度勾配が生じず均一な温度分布を実現する。【解決手段】 固定子80と可動子とを有する。リニアモータの温度分布とリニアモータが発生する推力との少なくとも一方に基づいてリニアモータを加熱する加熱装置3を備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
固定子と可動子とを有するリニアモータであって、 前記リニアモータの温度分布と前記リニアモータが発生する推力との少なくとも一方に基づいて前記リニアモータを加熱する加熱装置を備えたことを特徴とするリニアモータ。
IPC (4件)：
H02K 41/02 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H02K41/02 Z ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 515G ,  H01L21/30 515F
Fターム (29件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC08 ,  5H641BB06 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641GG12 ,  5H641GG29 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641JA06 ,  5H641JA09 ,  5H641JB01 ,  5H641JB05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM