特許
J-GLOBAL ID：200903015559310690
インジウム酸化物系焼結体およびその製造方法ならびにインジウム酸化物系ターゲット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-281559
公開番号（公開出願番号）：特開平9-125236
出願日： 1995年10月30日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は、大型で一体に形成された高密度なインジウム酸化物系焼結体およびその製造方法ならびにインジウム酸化物系ターゲットを提供することである。【解決手段】 本発明は、InおよびOからなり、相対密度90%以上であって、残留応力xが-200≦x≦200MPaであることを特徴とするインジウム酸化物系焼結体。
請求項（抜粋）：
InおよびOからなり、相対密度90%以上であって、残留応力xが-200≦x≦200MPaであることを特徴とするインジウム酸化物系焼結体。
引用特許：
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