特許
J-GLOBAL ID:200903093698626155

ITO粉末、ITO焼結体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-330812
公開番号(公開出願番号):特開平7-188912
出願日: 1993年12月27日
公開日(公表日): 1995年07月25日
要約:
【要約】【目的】【構成】 平均粒子径/BET法より求めた比表面積相当径が1〜10、BET法より求めた比表面積相当径/X線解析により求めた結晶子径が2以下である物性をそれぞれ有する、酸化インジウム及び酸化スズを混合してなるITO粉末、及びこの粉末を成形、常圧焼結してなる密度6.8〜7.13g/cm3、結晶粒径1〜20μm、焼結体中の最大気孔が10μm以下のITO焼結体。【効果】 常圧焼結にも拘らず、高密度のITO焼結体が得られる。
請求項(抜粋):
粒子径測定により求めた平均粒子径とBET法によって求めた比表面積相当径との比(平均粒子径/比表面積相当径)が1〜10であり、BET法によって求めた比表面積相当径とX線解析により求めた結晶子径との比(比表面積相当径/結晶子径)が2以下である物性をそれぞれ有する、酸化インジウムおよび酸化錫を混合してなるITO粉末。
IPC (4件):
C23C 14/34 ,  C01G 15/00 ,  C01G 19/00 ,  C04B 35/64
引用特許:
審査官引用 (6件)
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