表面検査装置およびその方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-068593
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255278
出願日： 2000年03月08日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】半導体製造や磁気ヘッド製造において、被加工対象物(例えば、半導体基板上の絶縁膜)に対してCMPなどの研磨または研削加工を施した際、その表面に生じる様々な形状を有するスクラッチと付着する異物とを弁別して検査することができるようにした表面検査装置およびその方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、研磨または研削された絶縁膜の表面に発生したスクラッチや異物に対してほぼ同じ光束で落射照明と斜方照明とを行い、該落射照明時と斜方照明時との間において浅いスクラッチと異物とから発生する散乱光強度の変化を検出することによって浅いスクラッチと異物とを弁別し、さらに、前記落射照明時における散乱光の指向性を検出することによって線状スクラッチと異物とを弁別することを特徴とする表面検査方法およびその装置である。

請求項（抜粋）：

被検査物を載置するステージと、該ステージ上に載置された被検査物の表面上の個所に該表面に対して法線方向若しくはその近傍方向から所望の光束で落射照明する落射照明系と、前記被検査物の表面上の個所に所望の光束で斜方照明する斜方照明系とを有する照明光学系と、該照明光学系の落射照明系によって落射照明された個所から発生する第1の反射光の内前記被検査物の表面に対して高角度に向かう第1の高角度散乱光および前記照明光学系の斜方照明系によって斜方照明された個所から発生する第2の反射光の内前記高角度に向かう第2の高角度散乱光を集光する高角度集光光学系と、該高角度集光光学系で集光された第1および第2の高角度散乱光を受光して第1および第2の輝度信号に変換する光電変換手段とを有する検出光学系と、該検出光学系の光電変換手段で変換された第1の輝度信号と第2の輝度信号との間の関係に基いて前記被検査物上の欠陥を弁別する比較判定部とを備えたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , G01B 11/30 , G06T 1/00 305 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/956 A , G01B 11/30 A , G06T 1/00 305 A , H01L 21/66 J , G01B 11/24 K

Fターム (99件)：

2F065AA49 , 2F065AA51 , 2F065AA61 , 2F065BB02 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065DD00 , 2F065DD12 , 2F065EE10 , 2F065FF42 , 2F065FF44 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065GG22 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065HH16 , 2F065HH18 , 2F065JJ01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ09 , 2F065JJ17 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL12 , 2F065LL21 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ05 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F065QQ28 , 2F065QQ36 , 2F065RR05 , 2F065RR06 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2F065UU07 , 2G051AA51 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BB01 , 2G051CA02 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051DA06 , 2G051DA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA24 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC02 , 2G051FA01 , 2G051FA04 , 4M106AA01 , 4M106AA20 , 4M106BA05 , 4M106CA41 , 4M106CA43 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB16 , 4M106DB19 , 4M106DB21 , 4M106DJ04 , 4M106DJ12 , 4M106DJ18 , 4M106DJ21 , 5B057AA03 , 5B057BA15 , 5B057BA19 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC09 , 5B057DC22

引用特許：

出願人引用 (5件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-345736 出願人：株式会社トプコン
特開昭57-013340
異物検出方法、および異物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-223858 出願人：株式会社アドバンテスト

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審査官引用 (6件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-345736 出願人：株式会社トプコン
異物検出方法、および異物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-223858 出願人：株式会社アドバンテスト
特開昭57-013340

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