特許
J-GLOBAL ID：200903015670459856
多室型真空熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-171793
公開番号（公開出願番号）：特開2005-009702
出願日： 2003年06月17日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】多室型真空熱処理装置において、品質を低下させずに、効率的に連続稼働して生産量を増大できるようにする。【解決手段】多室型真空熱処理装置1は、気密チャンバー2の外周に沿って配置された複数の処理セル4、6、10を備え、処理セルの一つを、処理物28を搬入するための真空パージ機能と処理物28を予熱する加熱機能の両方を有する搬入用処理セル4とし、他の処理セルのうちの一つを熱処理後の処理物28を均熱する均熱処理セル10とする。均熱処理セル10の外側に、均熱された処理物28を搬入する焼入処理セル22を配置し、この焼入処理セル22の外側に焼入れを完了した処理物28を外部に搬出する搬出扉54を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
気密チャンバーと、該気密チャンバーの外周に沿って配置された複数の処理セルとを備え、前記気密チャンバー内に前記処理セルとの間で処理物を移動させる搬送機構を備えた、前記処理物を前記処理セル内で熱処理する多室型真空熱処理装置において、
前記複数の処理セルの一つを、前記処理物が搬入される、真空パージ機能と前記処理物を予熱する加熱機能の両方を有する搬入用処理セルとし、他の前記処理セルのうちの一つを熱処理後の前記処理物を均熱する均熱処理セルとし、該均熱処理セルの外側に、均熱された前記処理物を搬入する焼入処理セルを配置し、該焼入処理セルに焼入れを完了した前記処理物を外部に搬出する搬出扉を設けてなることを特徴とする多室型真空熱処理装置。
IPC (6件)：
F27B5/02
, C21D1/773
, C23C8/20
, F27B5/05
, F27B5/12
, F27B5/13
F27B5/02
, C21D1/773 D
, C23C8/20
, F27B5/05
, F27B5/12
, F27B5/13
4K028AA01
, 4K028AB06
, 4K028AC03
, 4K028AC07
, 4K061AA01
, 4K061BA02
, 4K061CA21
, 4K061DA03
, 4K061DA05
, 4K061EA01
, 4K061FA12
, 4K061FA13
