特許
J-GLOBAL ID：200903015688327744

基材又は基板表面の汚染防止方法と装置

発明者：
藤井 敏昭

藤井 敏昭 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-187034
公開番号（公開出願番号）：特開平10-015330
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：
【要約】【課題】 微粒子と、基材及び基板表面の接触角を増大させる非メタン炭化水素が効果的に除去できる基材又は基板表面の汚染防止方法及び装置を提供する。【解決手段】 基材又は基板と接触する気体2を、該気体中の微粒子濃度をクラス1000以下にする除塵処理3と、非メタン炭化水素濃度を0.2ppm以下にする吸着処理5とで処理して、基材又は基板表面の汚染を防止する方法において、前記吸着処理を、フィルター状又は繊維状の少なくとも親水性部と疎水性部とを有する第1の吸着材5-1と、ガラスとフッ素化合物からなる第2の吸着材5-2とを組合せた吸着材を用いて行うこととしたものであり、前記吸着処理の前に除湿処理4をするのがよく、また、前記第1の吸着材5-1は、フィルター状又は繊維状の活性炭及び/又は該活性炭に金属又は半導体の酸化物、水酸化物、塩基性塩、珪酸塩等の親水性を有する無機物質を担持したものである。
請求項（抜粋）：
基材又は基板と接触する気体を、該気体中の微粒子濃度をクラス1000以下にする除塵処理と、非メタン炭化水素濃度を0.2ppm以下にする吸着処理とで処理して、基材又は基板表面の汚染を防止する方法において、前記吸着処理を、フィルター状又は繊維状の少なくとも親水性部と疎水性部とを有する第1の吸着材と、ガラスとフッ素化合物からなる第2の吸着材とを組合せた吸着材を用いて行うことを特徴とする基材又は基板表面の汚染防止方法。
IPC (3件)：
B01D 53/04 ,  B01D 39/14 ,  F24F 7/06
FI (3件)：
B01D 53/04 A ,  B01D 39/14 M ,  F24F 7/06 C
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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