プラズマディスプレイパネルの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067996
公開番号（公開出願番号）：特開平10-269934
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】線幅の細い隔壁を有するプラズマディスプレイを製造するための露光方法を提供する。【解決手段】所望のパターンより細い線幅のマスクを使用して露光することにより達成される。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上に光反応性有機成分とガラス粉末を必須成分として含む感光性ガラスペーストを塗布後、フォトマスクを用いて露光、現像、焼成の各工程を経てプラズマディスプレイパネルの隔壁を製造する際、焼成前の隔壁パターンの線幅L2に対してフォトマスクの線幅L1が次式を満足することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。L2/L1=1.1〜5

引用特許：

審査官引用 (3件)

パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-287272 出願人：日本化薬株式会社
感光性ペースト
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-321794 出願人：東レ株式会社
感光性絶縁ガラスペースト
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-187208 出願人：東レ株式会社

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