特許
J-GLOBAL ID：200903015709731630
インクジェットノズルの熱屈曲アクチュエータ及びパドル構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-599685
公開番号（公開出願番号）：特表2002-537132
出願日： 2000年02月11日
公開日（公表日）： 2002年11月05日
要約：
【要約】マイクロエレクトロメカニカルなシステム(MEMS)用の熱アクチュエータ(7)は、2つのアーム(10、11)を含み、両者の間には、動作特性を改良し剪断応力を低減する間隙がある。一方のアームは、熱膨張してアクチュエータを曲げるように配置されている。アクチュエータ(7)は、インクジェットノズルチャンバ(2)用のパドル(8)を動作するのに用いてもよい。ノズルチャンバ(2)における開口部は、アクチュエータ(7)と共にメニスカスを形成して、ノズルチャンバ(2)からの漏れを防止する、隆起したリム(19)を有する。パドル(8)は、スペーサの役割を果たしてパドル(8)とメニスカス(3)とがノズル(4)のところで接触するのを防止する、構造上の支持部(18)を有する。ノズルチャンバ(2)は、その非噴出状態においてパドル(8)に整列し対向する、内部突出部を有し、この内部突出部は、ノズルチャンバ(2)を噴出後急速に再充填する助けとなる。
請求項（抜粋）：
マイクロエレクトロメカニカルなデバイス用の熱アクチュエータであって、 支持基板と、 アクチュエータ作動部と、 その第1の端において前記基板に取り付けられ、第2の端において前記作動部に取り付けられた第1のアームであって、使用中は伝導によって加熱可能なように配置されている第1のアームと、 第1の端において前記支持基板に取り付けられ、第2の端において前記作動部に取り付けられた第2のアームであって、前記第1のアームと間隔を置いて配置され、それによって前記第1及び第2のアームが両者の間に間隙を規定する、第2のアームと を含み、使用中は、前記第1のアームが伝導によって加熱されると熱膨張し、それによって前記作動部に力が加えられるように配置されている熱アクチュエータ。
IPC (3件)：
B81B 3/00
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B81B 3/00
, B41J 3/04 103 A
2C057AF51
, 2C057AG14
, 2C057BA04
, 2C057BA15
