特許

J-GLOBAL ID：200903015746802237

薄膜トランジスタ及びその作製方法

発明者： 楠本 直人
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-041832
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232158
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 オン電流を減少させずにオフ電流(リーク電流)を減少させ、しかも製作工程が複雑にならず、歩留りが低下しない薄膜トランジスタの構造及びその製作方法を提供する。【構成】 ソース・ドレイン領域とチャネル形成領域とを構成する半導体層33を有する薄膜トランジスタにおいて、ソース・ドレイン領域の半導体層の厚さをチャネル形成領域38の半導体層の厚さに比較して薄くすることにより、ソース領域36とチャネル形成領域38との境界、及びドレイン領域37とチャネル形成領域38との境界において発生する電界集中が発生する部分をチャネルが形成される部分からずらす構成を実現する。そして、オフ電流(リーク電流)を低下させ、またオン電流を低下させないことにより、高い相互コンダクタンスを実現する。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に設けられたソース領域とドレイン領域とチャネル形成領域とを構成する半導体層を有した薄膜トランジスタであって、チャネル形成領域が設けられている半導体層の厚さに比較して、ソース領域及びドレイン領域が設けられている半導体層の厚さが薄く形成されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (2件)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/784

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 薄膜トランジスタ,液晶表示パネルのアクティブマトリクス基板およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-031003   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 電界効果トランジスタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-046015   出願人：日本ビクター株式会社
• 特開平4-119634
  
• 特開平3-148836