特許
J-GLOBAL ID：200903015755114378

被除去物の再利用方法

発明者：
対比地 元幸

対比地 元幸 について

, 
飯沼 宏文

飯沼 宏文 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について


代理人 (1件)： 岡田 敬 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264801
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176016
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：
【要約】【課題】 従来、ダイシングにより発生する研磨屑、研削屑は、全てがタンクの中に一緒に混ぜられ、処理されていた。またCMP等の機械的加工により発生する研磨屑、研削屑も同様であった。従って環境基準が厳しい物質も混ぜられて処理されているため、廃棄量が非常に多くなっていた。またこれを回収再利用しようとしても、実質不可能であった。【解決手段】 被除去物の材料、被除去物中の不純物別に排水が区別され、これを別々の濾過装置53で高濃度にし、別々の回収装置68で被除去物を回収する。更に、分別回収された被除去物を再利用することができる。
請求項（抜粋）：
不純物毎に区別された被除去物が固められた固形物を再利用することを特徴とする被除去物の再利用方法。
IPC (5件)：
H01L 21/304 622 ,  B01D 36/02 ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/14 ZAB ,  B24B 57/02
FI (5件)：
H01L 21/304 622 E ,  B01D 36/02 ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/14 ZAB ,  B24B 57/02
Fターム (24件)：
3C047FF06 ,  3C047FF08 ,  3C047GG17 ,  4D006GA07 ,  4D006HA28 ,  4D006HA41 ,  4D006HA93 ,  4D006JA04A ,  4D006KA14 ,  4D006KA71 ,  4D006KB14 ,  4D006KC14 ,  4D006MA02 ,  4D006MA03 ,  4D006MA21 ,  4D006MB02 ,  4D006MC22 ,  4D006PB08 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01 ,  4D066AB04 ,  4D066BA03 ,  4D066BA05 ,  4D066BB12
引用特許：
審査官引用 (13件)
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