β-炭化珪素微粉末の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-072349
公開番号（公開出願番号）：特開2002-274830
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【解決手段】架橋可能なシラン及びシロキサンから選ばれる1種又は2種以上の有機珪素化合物を黒鉛に含浸させ、この黒鉛内において上記有機珪素化合物の架橋物を形成した後、不活性気流中1300°C以上の温度で加熱、反応させることを特徴とするβ-炭化珪素微粉末の製造方法。【効果】本発明によれば、大気中での低温熱処理と不活性ガス中での高温熱処理以外特別な工程を必要としないため、工業的規模で低コストの炭化珪素微粉未を安定して製造することができる。

請求項（抜粋）：

架橋可能なシラン及びシロキサンから選ばれる1種又は2種以上の有機珪素化合物を黒鉛に含浸させ、この黒鉛内において上記有機珪素化合物の架橋物を形成した後、不活性気流中1300°C以上の温度で加熱、反応させることを特徴とするβ-炭化珪素微粉末の製造方法。

IPC (2件)：

C01B 31/36 601 , C09K 3/14 550

FI (2件)：

C01B 31/36 601 G , C09K 3/14 550 D

Fターム (3件)：

4G046MA15 , 4G046MB02 , 4G046MC04

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-168514
特開昭61-168515
特開昭62-297204

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