有機無機複合感光性樹脂組成物、TFT型液晶表示素子及びそのパターン形成方法

発明者： , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-192409
公開番号（公開出願番号）：特開2007-025678
出願日： 2006年07月13日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：

【課題】接着力、耐熱性、絶縁性、平坦性、耐化学性などに優れて液晶表示素子の画像形成用材料に適し、特に液晶表示素子の有機絶縁膜形成時に誘電率、平坦性、感度、残膜率、UV透過率が優れているためゲート用有機絶縁膜としての使用に適し、同時にオーバーコート用レジスト樹脂、ブラックマトリックス用レジスト樹脂、コラムスペーサ用レジスト樹脂、またはカラーフィルター用レジスト樹脂として、感度および残膜率を向上させるのに適した有機無機複合感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明による有機無機複合感光性樹脂組成物は、A)周期律表内の第3、4、5、13族金属酸化物からなる群または類似二元素金属酸化物からなる群より選択した金属酸化物;B)a)アクリル系共重合体;b)光開始剤;c)エチレン性不飽和結合を有する多官能性モノマー;d)エポキシ基またはアミン基を含むシリコン系化合物;e)溶媒を含む。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

A)周期律表内の第3、4、5、13族金属酸化物からなる群または類似二元素金属酸化物からなる群より選択された1種以上の金属酸化物; B)a)アクリル系共重合体; b)光開始剤; c)エチレン性不飽和結合を有する多官能性モノマー; d)エポキシ基またはアミン基を含むシリコン系化合物;および e)溶媒を含む有機無機複合感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/004 , G03F 7/033 , G03F 7/028 , G03F 7/075 , G03F 7/038 , G03F 7/027 , H01L 21/027 , G02F 1/136

FI (9件)：

G03F7/004 501 , G03F7/033 , G03F7/028 , G03F7/075 501 , G03F7/004 504 , G03F7/038 503 , G03F7/027 511 , H01L21/30 502R , G02F1/1368

Fターム (45件)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA18 , 2H025AA20 , 2H025AB13 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC43 , 2H025BC44 , 2H025BD03 , 2H025BD20 , 2H025BD23 , 2H025CA00 , 2H025CA01 , 2H025CA09 , 2H025CA28 , 2H025CB10 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC06 , 2H025CC08 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H092JA24 , 2H092JA46 , 2H092JB56 , 2H092JB58 , 2H092MA10 , 2H092NA25 , 2H092PA08

引用特許：

出願人引用 (4件)

感放射線性組成物、マイクロレンズとその形成方法および液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-429061 出願人：JSR株式会社
感光性セラミックス組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-121939 出願人：東レ株式会社
感光性グリーンシートおよびプラズマディスプレイの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-330951 出願人：東レ株式会社

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審査官引用 (4件)

感光性セラミックス組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-121939 出願人：東レ株式会社
感放射線性組成物、マイクロレンズとその形成方法および液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-429061 出願人：JSR株式会社
感光性グリーンシートおよびプラズマディスプレイの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-330951 出願人：東レ株式会社

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