荷電粒子線装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204818
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036276
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】検出系の切替え時にコントラスト及びブライトネスを再調整することがない操作性のすぐれた荷電粒子線装置を提供すること。【解決手段】マウス21を操作して操作画面上の信号選択スイッチにより二次電子信号を選択すると、コンピュ-タ19によって制御される制御手段14はスイッチ17を制御して二次電子信号を像表示器22に表示する。同時に、制御手段14は、操作画面上でマウスカ-ソルでコントラスト調整用スライドバ-を移動させた場合はそれに応答して、二次電子用増幅器15及び反射電子用増幅器16の増幅度を連動して調整し、ブライトネス調整用スライドバ-を移動させた場合はそれに応答して、それらの増幅器のバイアス値を連動して調整する。よって、その後マウスカ-ソルで反射電子信号を選択してその像を表示した場合は、その像のコントラスト及びブライトネスの再調整は不要となる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を放出させる荷電粒子線源と、試料を前記荷電粒子線で走査する走査器と、その走査によって前記試料から得られる情報を検出して前記試料を特徴付ける複数の信号を別々に生成する複数の検出系と、ポインティングディバイスを含むコンピュ-タと、信号選択器と、前記コンピュ-タによって制御される像表示器と、前記ポインティングディバイスの操作に応答して、前記複数の検出系のうちの任意の検出系を選択してその選択された検出系で生成された信号にもとづく前記試料の像を前記像表示器に表示するように前記信号選択器を制御するとともに、前記選択された検出系で生成された信号についてのコントラスト及びブライトネスと前記複数の検出系のうちの前記選択された検出系以外の検出系で生成された信号についてのコントラスト及びブライトネスとをそれぞれ連動して調整する、前記コンピュ-タによって制御される制御器とを含むことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , G01N 23/225

FI (3件)：

H01J 37/22 502 E , H01J 37/22 502 F , G01N 23/225

Fターム (12件)：

2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001DA06 , 2G001FA06 , 2G001FA18 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA13 , 2G001JA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

電子顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-263757 出願人：株式会社日立製作所
走査型電子顕微鏡および類似装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-168959 出願人：株式会社日立製作所
荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-107050 出願人：株式会社日立製作所

全件表示

前のページに戻る