基板処理装置の制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-303459
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129708
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】搬送待ち時間発生した場合に、処理中の基板に対するプロセス上の悪影響を防止する。【解決手段】搬送待ち時間発生すると、第1のスキップモードを実行し、最長処理時間ユニットよりも下流側に位置する基板に対しては、搬送経路を完了するまで処理を継続する。一方、最長処理時間ユニットよりも上流側に位置する基板については搬送を中止する。第1のスキップモードの実行中に警報が発生すると、第2のスキップモードを実行し、警報発生ユニット以降の経路に位置する基板に対しては搬送経路を完了するまで処理を継続し、一方、警報ユニットよりも上流側に位置する基板については搬送を中止する。

請求項（抜粋）：

処理対象の基板を予め設定された搬送経路に従って複数の処理ユニットに順次搬送しつつ処理する基板処理装置の制御方法であって、前記複数の処理ユニットの中で処理時間が最長である最長処理時間ユニットに基板を渡すための搬送の待ち時間の発生に応じて、前記搬送経路において前記最長処理時間ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記搬送経路を完了するまで処理と搬送とを継続するとともに、前記最長処理時間ユニットより上流側に位置する基板については搬送を中止する第1のスキップモードを備える、基板処理装置の制御方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/68 A , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭59-124615
半導体製造装置に於ける基板搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-265513 出願人：国際電気株式会社
特開平3-257945

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