ターボ分子ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-034029
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218093
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】翼排気部とねじ溝排気部を具備する広域型のターボ分子ポンプにおいて、ロータの排気側の応力はそのままとして信頼性を損なわず、排気性能を向上させることができるターボ分子ポンプを提供すること。【解決手段】ポンプケーシング1内にロータR側の回転筒状部5の外周に設けられた複数の回転翼12と複数のステータ側の固定翼15が交互に配置された翼排気部L1と、該翼排気部L1の下流側のステータS側又はロータR側の少なくとも一方にねじ溝を有するねじ溝排気部L2とが設けられた構造のターボ分子ポンプにおいて、ねじ溝排気部L2のロータRの排気側の外径寸法を吸気側の外径寸法より小さくした。

請求項（抜粋）：

ポンプケーシング内にロータ側の回転筒状部の外周に設けられた複数の回転翼と複数のステータ側の固定翼が交互に配置された翼排気部と、該翼排気部の下流側の前記ステータ側又はロータ側の少なくとも一方にねじ溝を有するねじ溝排気部とが設けられた構造のターボ分子ポンプにおいて、前記ねじ溝排気部のロータの吸気側の外径寸法を排気側の外径寸法より大きくしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-255597
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-227940 出願人：三菱重工業株式会社
ねじ溝真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-099666 出願人：日本原子力研究所, 株式会社大阪真空機器製作所

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