特許
J-GLOBAL ID：200903015996199331
微小物体の保持装置および保持方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001732
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200826
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 微小物体を安定して静電力により保持することができる微小物体の保持装置および保持方法を提供することを目的とする。【解決手段】 絶縁物の基板12の下面に導電体21aと絶縁膜21bより成る吸着部21を格子状に複数個形成し、絶縁膜21bの帯電および放電を、スイッチング回路20a、帯電用電源21cおよびトランジスタTrを備えた吸着制御部20によって個別に制御する。導電膜21aに電圧をかけることにより絶縁膜21bが帯電し、静電吸着により微小物体を保持する。これにより、絶縁膜21bの帯電・帯電解除を確実に制御でき、微小物体の保持を作業性よく行うことが出来る。
請求項（抜粋）：
基板の表面に形成された導電体とこの導電体を覆う絶縁膜より構成された複数の吸着部と、前記導電体に電圧を付与する吸着制御部とを備えたことを特徴とする微小物体の保持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
