特許
J-GLOBAL ID：200903016018598107
インク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-011026
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202889
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、熱エネルギを利用してインク液滴を記録媒体に向けて飛翔させる形式の記録装置に関するもので、大規模高集積密度のフルカラーインク噴射記録ヘッドとその製造法を提供することを課題とする。【解決手段】 シリコン基板に駆動用LSIと薄膜ヒ-タを形成し、この上にインク通路用隔壁を形成後、シリコン基板の両面からサンドブラスト加工によってインク溝と連結穴を形成する。その後、オリフィスプレ-トを接着後、フォトエッチングによってインク吐出口を形成する。これらは薄膜プロセスのみで構成されており、数万ノズルから数10万ノズルを一括して製造できる方法である。
請求項（抜粋）：
シリコン基板の第1面上に形成された薄膜抵抗体と薄膜導体からなる複数個のヒータと、該ヒータを駆動するべく同一シリコン基板上に形成され、前記ヒータに接続された駆動用LSIと、前記複数個のヒータに順次パルス通電することによって該ヒータの発熱面と垂直又はほぼ垂直方向にインク滴を吐出する複数個の吐出口と、該複数個の吐出口のそれぞれに対応して該シリコン基板上に設けられた複数個の個別インク通路と、該個別インク通路の全てが連通するべく前記シリコン基板上に設けられた共通インク通路と、該共通インク通路の全長にわたって導通されるよう前記シリコン基板に設けられた1本のインク溝と、該インク溝が前記シリコン基板の第1面の裏面である第2面と連通するべく該シリコン基板の第2面に穿たれた少なくとも1個の連結穴とからなるインク噴射デバイスの複数個が並置されているインク噴射記録ヘッドを製造する方法であって、(1)シリコン基板の第1面に駆動用LSIを形成する工程と、(2)該シリコン基板の第1面に薄膜抵抗体及び薄膜導体を形成する工程と、(3)該シリコン基板の第1面に前記インク通路を構成する隔壁層を形成する工程と、(4)該シリコン基板の両面にサンドブラスト加工によって前記インク溝及び連結穴を形成する工程と、(5)該シリコン基板の第1面にオリフィスプレートを接着する工程と、(6)該オリフィスプレートにフォトエッチングによって前記吐出口を形成する工程と、(7)該シリコン基板を切断してヘッドチップに分割する工程を含むことを特徴とするインク噴射記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
